SJT 31064-1994 3800型抛光机完好要求和检查评定方法
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ID： |
B746A7439A2449E29BC04CB04DBD8911 |
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文件大小(MB)： |
0.26 |
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页数： |
3 |
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文件格式： |
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日期： |
2024-7-28 |
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SJ/T 31064-94,中华人民共和国电子行业标准,3800型抛光机完好要求和检查评定方法,主题内容与适用范围,本标准规定了 3800型抛光机的完好要求和检査、评定方法,本标准适用于半导体器件生产中晶片加工抛光机,2完好要求,2.1 性能,2.1.1 抛光机的生产效率应能达到设计能力的90%以上,2.1.2 设备性能应能满足生产エ艺要求,产品质量达到规定指标。加工精度主要指标完好要,求和检测方法,见表1所.列,表1 3800型抛光机工作精度完好要求和检测方法,序号检测项目,允 差,（完好要求）,检测器具和方法,G, 圆片厚度（厚0, 65mm） ± 0?01mm 测厚仪,G2 圆片两平面平行度<±2pm 用测微仪测量加工件,连测或轴测1Q片以上,G3 圆片平面平整度（平面度） ±0, 2卩m 用测微仪测量加工件,连测或轴测10片以上,g4 圆片表面划伤<2% 在聚光灯下目测,g5 圆片厚度加工误差±2〃m 用千分尺检测,注:表中所列各项,均为必测主要项目,如果有一项不符合要求,说明该设备对产品质量的保证程度差,2.2 操作系统,2.2.1 各操作开关、按钮启动灵活,定位可靠,标志齐全、明显、无损伤.,2.2.2 制动、限位装置齐全,性能灵活、可靠,2.3 传动系统,2. 3-1伺服工作台机械传动平稳、可靠;设备运行时无冲击、无振动现象,2. 3.2各变速箱及磨抛盘转动无异常,4个压盘转动时平衡性好,平稳无抖动,2.3.3立拉升降平穩可靠,工作正常,2.4 润滑系统,2.4.1 润滑装置完整无损,管路齐全、油路畅通,联接处密封性好,无漏油现象,2.4.2 各润滑点清洁,无堵塞现象;油质、油量符合要求,2.4. 3基本无漏油,每一漏油点滴油数3min内不超过一滴,中华人民共和国电子工业/1994-04-15批准 1994-06-01实施,www. bzfxw. com 下载,SJ/T 31064-94,2.5 真空系统,机械泵工作稳定,技术性能满足生产エ艺要求。具体完好要求参照SJ/T 31412—94《W型,真空泵完好要求》执行,2.6 液压系统,2. 6.1液压系统的运行件在各种速度范围内,不应发生振动.不应有异常噪声和显著的冲击,不应有停滞和爬行现象,2.6.2液压系统各元件动作灵敏、可靠,工作压カ不应低于或超过规定压カ的15%,2. 6.3液压系统基本无漏油,即设备外部不得有3min滴一滴以上的漏油点,箱体内不得有,连续的流油,2.6.4 各减压阀、电磁阀、气阀功能可靠,压カ表显示准确,管接头联接牢固,无渗漏,2.6.5 压力表等仪表性能灵敏、稳.定,指示准确,有有效期内校验合格证,2.6.6 液压油质符合规定,油箱内不得有油污、杂质,2.y电气 系统,2.7.1 电气线路整齐、各开关、按钮、操作键完整无损,动作灵敏、可靠,控制装置各组成部分,保持完整,功能齐全,性能稳定,工作状态良好,显示清晰,2.7.2 显示器能正常显示通电自检的正常信息,微机系统通电自检功能必须正常,2.7.3 输入/输出程序正确无误,2.7.4 各指示灯齐全、完整,指示准确可靠;温度显示、定时显示准确,工作可靠,2.7.5 电动机运行平稳,轴承无显著噪音,温升在额定范围以下,2.7.6 机器上的电气保护装置必须齐全可靠,整定值符合要求;布线整齐,线路无老化、破裂,各线路标志齐全、正确,2.8 冷却系统,2.8.1 冷却器具齐全、完整,2.8.2 冷却装置安装良好,工作状态良好,2.8.3 冷却液不得渗入电气箱内和皮带上,2.9 安全防护,2.9.1 设备安全防护盖板、挡屑板等装置齐全,完整无损,固定牢固、可靠,2.9.2 自动保护装置、报警装置性能灵敏、可靠,2.9.3 设备接地可靠,标志明显,2.10 维护保养,按SJ/T 31002—94《设备维护保养通则》执行,3检查、评定方法,3.1 检査方法,3.1.1 主要技术指标的检测方法见表列,3.1.2 对各系统完好要求,在设备现场,采用现场主观方法进行检査,2,SJ/T 31064-94,3.2 评定方法,3.2.1,3.2.2,备,3.2.3,主要项目为：2.1.1.2.1. 2.2- 9.1~2. 9. 3;其余均为次要项目,主要项目ー项不符合要求,为不完好设备;次要项目有二项不符合要求,亦为不完好设,完好设备的维护保养,应达到优等设备标准,附加说明:,本标准由电子工业部经济运行与体制改革司提出,本标准由中国华晶电子集团公司组织起草,本标准主要起草人:吴正伟、顾军建、周效学、吴秀琴,——3……
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